Optical system for a plurality of primary beamlets, charged particle multi-beam apparatus and method of focusing a plurality of primary beamlets
WO2025125289
Art A1
19. Juni 2025
Anmelder: ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FÜR HA, TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025125289
- Aktenzeichen
- EP24829390
- Anmeldetag
- 11. Dezember 2024
- Veröffentlichung
- 19. Juni 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/12H01J37/153
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FÜR HA
TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇳🇱
Technische Universiteit Delft
Niederländische Technische Universität in Delft mit breiter Forschung in Ingenieurwissenschaften und angewandter Technik.
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