Substrate bonding device and substrate bonding method

WO2025126831 Art A1 19. Juni 2025

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025126831
Aktenzeichen
EP24903490
Anmeldetag
26. November 2024
Veröffentlichung
19. Juni 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/02H01L21/68H01L21/683
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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