Diffraction-Based Illumination Sampling
WO2025128288
Art A1
19. Juni 2025
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025128288
- Aktenzeichen
- EP24904615
- Anmeldetag
- 18. November 2024
- Veröffentlichung
- 19. Juni 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/47G01N21/88G01N21/95G01J1/42G01J3/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.