Measurements of complex semiconductor structures based on component measurement signals
WO2025128935
Art A1
19. Juni 2025
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025128935
- Aktenzeichen
- EP24904935
- Anmeldetag
- 13. Dezember 2024
- Veröffentlichung
- 19. Juni 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01B15/00G01N23/083G01N23/225G06N20/00H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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