Verfahren zum Glätten einer Oberfläche eines Substrats

WO2025131385 Art A1 26. Juni 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025131385
Aktenzeichen: EP24799186
Anmeldetag: 29. Oktober 2024
Veröffentlichung: 26. Juni 2025
Rechtsraum: WO
IPC: B24B7/22B24B7/24B24B13/015B24B29/00B24D13/10B24D13/14

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.391 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von