A color selection module for filtering a selectable wavelength band

WO2025131447 Art A1 26. Juni 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025131447
Aktenzeichen
EP24805541
Anmeldetag
13. November 2024
Veröffentlichung
26. Juni 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/00G03F9/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML NETHERLANDS B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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