Sensor and method for qualification of a topography of a surface of a die for die bonding

WO2025131543 Art A1 26. Juni 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025131543
Aktenzeichen: EP24812475
Anmeldetag: 22. November 2024
Veröffentlichung: 26. Juni 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G11C29/00G11C29/56G01N21/95H01L21/66H01L23/00G01B11/24G01B11/30G11C29/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Akustik, Musik & Datenspeicherung Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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