Verfahren zum Schützen einer Kleberschicht vor Streustrahlung, Optische Komponente und Anlage der Halbleitertechnologie

WO2025131579 Art A1 26. Juni 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025131579
Aktenzeichen: EP24817120
Anmeldetag: 26. November 2024
Veröffentlichung: 26. Juni 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G02B1/14G02B5/02G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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