Systems and methods for real-time time-integral squared (tis) and speckle contrast (sc) control in duv lasers

WO2025133738 Art A1 26. Juni 2025

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025133738
Aktenzeichen: EP24813482
Anmeldetag: 8. November 2024
Veröffentlichung: 26. Juni 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00H01S3/225

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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