Method for manufacturing heteroepitaxial wafer

WO2025134577 Art A1 26. Juni 2025

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025134577
Aktenzeichen
EP24906965
Anmeldetag
8. November 2024
Veröffentlichung
26. Juni 2025
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/36C23C16/42C30B25/18H01L21/205
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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