Embedding method and embedding system

WO2025134787 Art A1 26. Juni 2025

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025134787
Aktenzeichen
EP24907173
Anmeldetag
5. Dezember 2024
Veröffentlichung
26. Juni 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H01L23/12H01L21/56H01L23/29H01L23/31H01L25/04H01L25/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TOKYO ELECTRON LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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