Electrode configurations and magnet configurations for processing chambers, and related methods and apparatus, for semiconductor manufacturing

WO2025136553 Art A1 26. Juni 2025

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025136553
Aktenzeichen
EP24908562
Anmeldetag
15. November 2024
Veröffentlichung
26. Juni 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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