Methods, Devices, And Systems For Measuring A Concentration Of an Amine-Based Compound in an Etching Solution

WO2025136644 Art A1 26. Juni 2025

Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025136644
Aktenzeichen: EP24908601
Anmeldetag: 3. Dezember 2024
Veröffentlichung: 26. Juni 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/31G01N21/64C09K13/06H01L21/311

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ENTEGRIS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

1.106 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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