Top coat composition, and method for producing resist pattern and method for producing device using same

WO2025140917 Art A1 3. Juli 2025

Anmelder: MERCK PATENT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025140917
Aktenzeichen
EP24836697
Anmeldetag
18. Dezember 2024
Veröffentlichung
3. Juli 2025
Rechtsraum
WO
IPC
B41C1/10C08F290/06C09D151/08G03F7/075H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
MERCK PATENT GMBH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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