Top coat composition, and method for producing resist pattern and method for producing device using same
WO2025140917
Art A1
3. Juli 2025
Anmelder: MERCK PATENT GMBH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025140917
- Aktenzeichen
- EP24836697
- Anmeldetag
- 18. Dezember 2024
- Veröffentlichung
- 3. Juli 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B41C1/10C08F290/06C09D151/08G03F7/075H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MERCK PATENT GMBH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Merck KGaA
Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.
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