Laser maintenance using tree-based machine learning models incorporating target-based functions

WO2025141352 Art A1 3. Juli 2025

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025141352
Aktenzeichen: EP24820478
Anmeldetag: 22. November 2024
Veröffentlichung: 3. Juli 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G06Q10/20H01S5/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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