Resist composition, resist pattern formation method, and compound

WO2025142340 Art A1 3. Juli 2025

Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025142340
Aktenzeichen
EP24912230
Anmeldetag
3. Dezember 2024
Veröffentlichung
3. Juli 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/004C07C63/70C07C65/05C07C65/10C07C309/12C07D307/00C07D307/33C07D317/36C07D409/12C09K3/00G03F7/039G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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