Schedule creation program generation method, schedule creation program generation device, schedule creation device, recording medium, generation program, schedule creation program, substrate processing device, and substrate processing system

WO2025142618 Art A1 3. Juli 2025

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025142618
Aktenzeichen: EP24912507
Anmeldetag: 17. Dezember 2024
Veröffentlichung: 3. Juli 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02G06N3/092H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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