Method for producing quaternary alkylammonium hypobromite solution and method for treating semiconductor wafer

WO2025143006 Art A1 3. Juli 2025

Anmelder: TOKUYAMA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025143006
Aktenzeichen: EP24912892
Anmeldetag: 25. Dezember 2024
Veröffentlichung: 3. Juli 2025
Rechtsraum: WO
IPC: C07C209/68C07C211/63C11D3/26H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKUYAMA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokuyama

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Shunan, gegründet 1918. Produziert unter anderem Spezialchemikalien, Zement und Halbleitermaterialien.

1.073 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Organische Chemie

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