Particle removal system and method for controlling particle removal system

WO2025143038 Art A1 3. Juli 2025

Anmelder: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA, KAWASAKI ROBOTICS (USA), INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025143038
Aktenzeichen: EP24912924
Anmeldetag: 25. Dezember 2024
Veröffentlichung: 3. Juli 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
KAWASAKI ROBOTICS (USA), INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kawasaki Heavy Industries

Japanischer Schwerindustriekonzern mit Sitz in Kobe. Kawasaki fertigt Motorräder, Schienenfahrzeuge, Schiffe, Flugzeuge sowie Anlagen für Energie- und Robotertechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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