Adjusting effective depth of focus

WO2025145439 Art A1 10. Juli 2025

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025145439
Aktenzeichen
EP24914668
Anmeldetag
5. Januar 2024
Veröffentlichung
10. Juli 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/20G03F7/207H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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