Electron energy fluctuation stabilizing and compensating methods and techniques for electron-beam systems

WO2025146461 Art A1 10. Juli 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025146461
Aktenzeichen: EP25700117
Anmeldetag: 2. Januar 2025
Veröffentlichung: 10. Juli 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/24H01J37/28H01J37/248

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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