Reflection-type mask blank, reflection-type mask, and method for producing reflection-type mask
WO2025146811
Art A1
10. Juli 2025
Anmelder: AGC INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025146811
- Aktenzeichen
- EP24915500
- Anmeldetag
- 26. Dezember 2024
- Veröffentlichung
- 10. Juli 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F1/24G03F1/80H01L21/3065
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- AGC INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
AGC (Asahi Glass)
Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.
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