Reflection-type mask blank, reflection-type mask, and method for producing reflection-type mask

WO2025146811 Art A1 10. Juli 2025

Anmelder: AGC INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025146811
Aktenzeichen
EP24915500
Anmeldetag
26. Dezember 2024
Veröffentlichung
10. Juli 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G03F1/24G03F1/80H01L21/3065
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
AGC INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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