Raw material supply device, substrate processing device, and raw material supply method

WO2025147101 Art A1 10. Juli 2025

Anmelder: JUSUNG ENGINEERING CO., LTD 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025147101
Aktenzeichen: EP25736255
Anmeldetag: 2. Januar 2025
Veröffentlichung: 10. Juli 2025
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/448C23C16/52H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JUSUNG ENGINEERING CO., LTD
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Jusung Engineering

Jusung Engineering ist ein südkoreanischer Hersteller von Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleitertechnik, ergänzt durch Metallurgie und Elektronik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

276 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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