Diffractive euv spectral purity filters for optical systems
WO2025147448
Art A1
10. Juli 2025
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025147448
- Aktenzeichen
- EP24915304
- Anmeldetag
- 31. Dezember 2024
- Veröffentlichung
- 10. Juli 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G02B5/28G02B5/20G02B21/16G02B27/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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