Selective deposition on metal-containing mask using promoter

WO2025151170 Art A1 17. Juli 2025

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025151170
Aktenzeichen: EP24917519
Anmeldetag: 23. Oktober 2024
Veröffentlichung: 17. Juli 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027H01L21/033H01L21/02G03F7/004C23C16/02C23C16/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.255 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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