Integrated optical nanothermometry for real-time wafer temperature monitoring during processing

WO2025151209 Art A1 17. Juli 2025

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025151209
Aktenzeichen: EP24917479
Anmeldetag: 3. Dezember 2024
Veröffentlichung: 17. Juli 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01K11/20G01K1/024G01K1/08G01K1/14G01K13/12H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.255 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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