Diethyl zinc and metal halide precursors for deposition of metal films on semiconductor substrates

WO2025151418 Art A1 17. Juli 2025

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025151418
Aktenzeichen
EP25739087
Anmeldetag
7. Januar 2025
Veröffentlichung
17. Juli 2025
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/04C23C16/455C23C16/08C23C16/52
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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