In-situ, pre-implant wafer characterization system and method

WO2025151833 Art A1 17. Juli 2025

Anmelder: AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025151833
Aktenzeichen: EP25705387
Anmeldetag: 10. Januar 2025
Veröffentlichung: 17. Juli 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67H01L21/66H01L21/677G01N22/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Axcelis Technologies

Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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