Deformation control for die-to-wafer and die-to-die bonding in device manufacturing

WO2025155563 Art A1 24. Juli 2025

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025155563
Aktenzeichen
EP25742171
Anmeldetag
14. Januar 2025
Veröffentlichung
24. Juli 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/302H01L21/18H01L21/78
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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