Machine learning based semiconductor measurement models trained using historical data

WO2025155771 Art A1 24. Juli 2025

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025155771
Aktenzeichen
EP25742444
Anmeldetag
17. Januar 2025
Veröffentlichung
24. Juli 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G01N21/21G01N21/84G01N21/95G01N23/22H01L21/66G06N20/00G01B11/06
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

Vertreten von

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