Method of determining a change of a presence state of a substrate, and presence sensor system

WO2025157401 Art A1 31. Juli 2025

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025157401
Aktenzeichen: EP24703110
Anmeldetag: 24. Januar 2024
Veröffentlichung: 31. Juli 2025
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/54C23C14/56C23C16/46C23C16/52C23C16/54G01J5/00H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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