Time-division multiplexing wafer z tilt-height sensor for charged particle beam focusing

WO2025157580 Art A1 31. Juli 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025157580
Aktenzeichen: EP25700306
Anmeldetag: 6. Januar 2025
Veröffentlichung: 31. Juli 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/22G01B11/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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