Backside deposition of anti-reflective (ar) and high reflective (hr) layer

WO2025159931 Art A1 31. Juli 2025

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025159931
Aktenzeichen: EP25745108
Anmeldetag: 13. Januar 2025
Veröffentlichung: 31. Juli 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02H01L21/3205C23C16/06C23C16/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von