Dosage-controlled voltage contrast inspection in charged-particle beam systems and methods thereof

WO2025162675 Art A1 7. August 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025162675
Aktenzeichen: EP25700229
Anmeldetag: 6. Januar 2025
Veröffentlichung: 7. August 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01N23/2251G01R31/307H01J37/28G01N33/00H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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