Collector mirror and collector mirror assembly for lithography

WO2025162830 Art A1 7. August 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH, ASML NETHERLANDS B.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025162830
Aktenzeichen: EP25701561
Anmeldetag: 24. Januar 2025
Veröffentlichung: 7. August 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G02B7/182G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: CARL ZEISS SMT GMBH
ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von