Adaptive and robust detection of large defects and image misalignment

WO2025165708 Art A1 7. August 2025

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025165708
Aktenzeichen: EP25748867
Anmeldetag: 28. Januar 2025
Veröffentlichung: 7. August 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/95G01N21/88H01L21/66G06T7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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