Chemical vapor deposition of germanium nitride on group-iii nitride semiconductors

WO2025165815 Art A1 7. August 2025

Anmelder: THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025165815
Aktenzeichen
EP25748812
Anmeldetag
29. Januar 2025
Veröffentlichung
7. August 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/02H10D62/10H10H20/01H01L23/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 University of California

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