Robotic chamber cleaning and maintenance

WO2025166091 Art A1 7. August 2025

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025166091
Aktenzeichen: EP25749428
Anmeldetag: 31. Januar 2025
Veröffentlichung: 7. August 2025
Rechtsraum: WO
IPC: B25J11/00B25J5/00B25J15/00B25J18/02B08B3/08B08B5/04F16B35/04F16B23/00C23C16/458

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von