Radical scavenger additives for metal oxide based resists and precursor solutions

WO2025166117 Art A1 7. August 2025

Anmelder: INPRIA CORPORATION, JSR CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025166117
Aktenzeichen: EP25749443
Anmeldetag: 31. Januar 2025
Veröffentlichung: 7. August 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/004G03F1/48G03F7/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: INPRIA CORPORATION
JSR CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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