Interferometer system without walk-off, method for using an interferometer system

WO2025168295 Art A1 14. August 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025168295
Aktenzeichen: EP25701768
Anmeldetag: 10. Januar 2025
Veröffentlichung: 14. August 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/02018G01B9/02061G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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