Strebe und Optisches System

WO2025168588 Art A1 14. August 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025168588
Aktenzeichen: EP25704492
Anmeldetag: 5. Februar 2025
Veröffentlichung: 14. August 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G02B7/182G02B7/183G02B7/192G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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