Measurement system and control system

WO2025169485 Art A1 14. August 2025

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025169485
Aktenzeichen: EP24923806
Anmeldetag: 9. Februar 2024
Veröffentlichung: 14. August 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/17G01B11/00G01C15/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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