Radiation-sensitive composition, pattern forming method, and onium salt

WO2025169659 Art A1 14. August 2025

Anmelder: JSR CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025169659
Aktenzeichen
EP25752081
Anmeldetag
9. Januar 2025
Veröffentlichung
14. August 2025
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/004C07D321/10C07D333/76C07D335/04C07D493/08C07D495/18C08F20/10G03F7/20G03F7/038G03F7/039
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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