Radiation-sensitive composition, pattern forming method, and onium salt
WO2025169659
Art A1
14. August 2025
Anmelder: JSR CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025169659
- Aktenzeichen
- EP25752081
- Anmeldetag
- 9. Januar 2025
- Veröffentlichung
- 14. August 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/004C07D321/10C07D333/76C07D335/04C07D493/08C07D495/18C08F20/10G03F7/20G03F7/038G03F7/039
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- JSR CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
JSR Corporation
JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.
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