Component of semiconductor manufacturing apparatus and method for manufacturing component of semiconductor manufacturing apparatus
WO2025169710
Art A1
14. August 2025
Anmelder: NHK SPRING CO., LTD., SHIBAURA INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2025169710
- Aktenzeichen
- EP25752132
- Anmeldetag
- 21. Januar 2025
- Veröffentlichung
- 14. August 2025
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/683H01L21/3065
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- NHK SPRING CO., LTD.
SHIBAURA INSTITUTE OF TECHNOLOGY - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
NHK Spring
Japanischer Automobilzulieferer mit Sitz in Yokohama, spezialisiert auf Federungssysteme, Sitzkomponenten und Festplattenaufhängungen.
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