Bonding device

WO2025169810 Art A1 14. August 2025

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2025169810
Aktenzeichen
EP25751880
Anmeldetag
29. Januar 2025
Veröffentlichung
14. August 2025
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/60H01L21/52H01L21/677
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TOKYO ELECTRON LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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