Carbon gapfill growth and pattern loading control for variable cd/ar features

WO2025171253 Art A1 14. August 2025

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025171253
Aktenzeichen: EP25752911
Anmeldetag: 7. Februar 2025
Veröffentlichung: 14. August 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02H01L21/311C23C16/04C23C16/26C23C16/509

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

10.794 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von