Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten eines Substrats eines Optischen Elements

WO2025172000 Art A1 21. August 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025172000
Aktenzeichen: EP25703390
Anmeldetag: 21. Januar 2025
Veröffentlichung: 21. August 2025
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/24C23C14/50C23C14/54G02B1/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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