Systems and methods of energy-based filtering and detection of charged particles

WO2025172004 Art A1 21. August 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025172004
Aktenzeichen: EP25701475
Anmeldetag: 21. Januar 2025
Veröffentlichung: 21. August 2025
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/05H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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