Apparatus for use in a metrology tool

WO2025172038 Art A1 21. August 2025

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025172038
Aktenzeichen: EP25701577
Anmeldetag: 28. Januar 2025
Veröffentlichung: 21. August 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F9/00G01B11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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