Organohalogen precursors for particle beam-induced mask repair

WO2025172428 Art A1 21. August 2025

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2025172428
Aktenzeichen: EP25706321
Anmeldetag: 13. Februar 2025
Veröffentlichung: 21. August 2025
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/74

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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